[实用新型]一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉有效
| 申请号： | 202222322383.7 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN219326866U | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;朱沫浥;方辉;翁继先;刘盼盼 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/10;C30B15/30 |
| 代理公司： | 安徽歌途知识产权代理事务所(普通合伙) 34282 | 代理人： | 潘光亮 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，提供一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，旨在解决现有的晶体生长炉在对晶体进行提拉时不容易对提拉速度进行控制，晶体的提拉效果较差，同时不方便对生长的晶体进行观察的问题，包括水冷铜坩埚、不锈钢水冷真空腔室、感应射频电源、控制箱、水冷机、抽真空机、提拉机构和坩埚升降机构，所述不锈钢水冷真空腔室下端固定连接有机架，且所述不锈钢水冷真空腔室采用不锈钢双层水冷腔体，确保设备工作时表明温度≤40℃，不锈钢水冷真空腔室的腔体上有观察窗口、四芯陶峰电机、真空压力表及抽真空孔。本实用新型尤其适用于金属单晶生长用，具有较高的社会使用价值和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 生产 金属 悬浮 生长 | ||
【主权项】：
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