[实用新型]一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉

权利要求书

1.一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，包括水冷铜坩埚(1)、不锈钢水冷真空腔室(2)、感应射频电源(3)、控制箱(4)、水冷机(5)、抽真空机(6)、提拉机构(7)和坩埚升降机构(8)，其特征在于，所述不锈钢水冷真空腔室(2)下端固定连接有机架，且所述不锈钢水冷真空腔室(2)采用(304)不锈钢双层水冷腔体，确保设备工作时表明温度≤40℃，不锈钢水冷真空腔室(2)的腔体上有观察窗口、四芯陶峰电机、真空压力表及抽真空孔，抽真空孔与抽真空机(6)相连通，所述水冷铜坩埚(1)滑动连接在不锈钢水冷真空腔室(2)内腔下部，水冷铜坩埚(1)下端与坩埚升降机构(8)相连接，坩埚升降机构(8)与不锈钢水冷真空腔室(2)之间密封连接，所述不锈钢水冷真空腔室(2)通过管道与抽真空机(6)贯通连接，抽真空机(6)通过支架固定安装在机架上，所述感应射频电源(3)、水冷机(5)和抽真空机(6)通过控制箱(4)进行控制，所述不锈钢水冷真空腔室(2)的环形内壁上端贯通开设有用于安装提拉杆的滑动孔(21)，且滑动孔(21)上端贯通连接有和提拉杆尺寸相匹配的密封套(22)，所述不锈钢水冷真空腔室(2)上方设有提拉机构(7)；

所述提拉机构(7)包括竖直固定安装在不锈钢水冷真空腔室(2)上端的滑轨(71)，滑轨(71)上滑动连接有滑块(73)，滑块(73)水平向外侧延伸并水平固定连接有连动板(74)，连动板(74)上竖直贯通开设有螺纹孔(75)，螺纹孔(75)内螺纹连接有螺柱(76)，螺柱(76)向下延伸并通过转动座转动连接在不锈钢水冷真空腔室(2)的顶壁上，所述螺柱(76)向上延伸并同轴固定连接在伺服电机(77)的输出端上，伺服电机(77)通过电机支架竖直固定安装在滑轨(71)上端，所述连动板(74)远离滑块(73)一侧的侧壁上固定连接有安装套(78)，安装套(78)对应密封套(22)的上方位置竖直贯通开设有与提拉杆相匹配的安装孔，安装孔上端贯通连接有固定套(79)。

2.如权利要求1所述的一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，其特征在于：所述不锈钢水冷真空腔室(2)的顶壁和滑轨(71)之间连接有加强肋(72)。

3.如权利要求1所述的一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，其特征在于：所述连动板(74)和安装套(78)之间固定连接有多个加强筋。

4.如权利要求1所述的一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，其特征在于：所述固定套(79)的环形侧壁上贯通开设有多个固定孔(710)，固定孔(710)内均螺纹连接有螺栓(712)，螺栓(712)向相近的一侧延伸并固定连接有固定块(711)，多个螺栓(712)向相背离的一侧延伸并螺纹套设有锁定螺母(713)。

5.如权利要求4所述的一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，其特征在于：多个所述固定块(711)的相近一侧均设有防滑软垫。

6.如权利要求1所述的一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，其特征在于：所述坩埚升降机构(8)采用动密封系统，通过手摇微调坩埚上下的位置，调整坩埚与感应线圈的距离。