[实用新型]一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉

说明书

本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，提供一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，旨在解决现有的晶体生长炉在对晶体进行提拉时不容易对提拉速度进行控制，晶体的提拉效果较差，同时不方便对生长的晶体进行观察的问题，包括水冷铜坩埚、不锈钢水冷真空腔室、感应射频电源、控制箱、水冷机、抽真空机、提拉机构和坩埚升降机构，所述不锈钢水冷真空腔室下端固定连接有机架，且所述不锈钢水冷真空腔室采用不锈钢双层水冷腔体，确保设备工作时表明温度≤40℃，不锈钢水冷真空腔室的腔体上有观察窗口、四芯陶峰电机、真空压力表及抽真空孔。本实用新型尤其适用于金属单晶生长用，具有较高的社会使用价值和应用前景。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，具体涉及一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉。

背景技术

晶体提拉法又称丘克拉斯基法，此法是由熔体生长单晶的一项最主要的方法，适用于大尺寸完美晶体的批量生产。被加热的提拉炉中盛着熔融的料，籽晶杆带着籽晶由上而下插入熔体，由于固液界面附近的熔体维持一定的过冷度、熔体沿籽晶结晶，并随籽晶的逐渐上升而生长成棒状单晶，提拉炉可以由高频感应或电阻加热。

目前，晶体生长炉已经广泛应用在研究院校和实验当中，现在技术的晶体生长炉，大多数都是用于实验室中提拉生长各种氧化物单晶和金属单晶，而对于针对单方面的金属单晶生长的炉子国内还没有涉及，在对晶体进行提拉时不容易对提拉速度进行控制，晶体的提拉效果较差，不能有效的保证晶体的生长效果，同时不方便对生长的晶体进行观察。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，旨在解决现有的晶体生长炉在对晶体进行提拉时不容易对提拉速度进行控制，晶体的提拉效果较差，同时不方便对生长的晶体进行观察的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种可以生产金属单晶的悬浮提拉生长炉，包括水冷铜坩埚、不锈钢水冷真空腔室、感应射频电源、控制箱、水冷机、抽真空机、提拉机构和坩埚升降机构，所述不锈钢水冷真空腔室下端固定连接有机架，且所述不锈钢水冷真空腔室采用不锈钢双层水冷腔体，确保设备工作时表明温度≤40℃，不锈钢水冷真空腔室的腔体上有观察窗口、四芯陶峰电机、真空压力表及抽真空孔，抽真空孔与抽真空机相连通，所述水冷铜坩埚滑动连接在不锈钢水冷真空腔室内腔下部，水冷铜坩埚下端与坩埚升降机构相连接，坩埚升降机构与不锈钢水冷真空腔室之间密封连接，所述不锈钢水冷真空腔室通过管道与抽真空机贯通连接，抽真空机通过支架固定安装在机架上，所述感应射频电源、水冷机和抽真空机通过控制箱进行控制，所述不锈钢水冷真空腔室的环形内壁上端贯通开设有用于安装提拉杆的滑动孔，且滑动孔上端贯通连接有和提拉杆尺寸相匹配的密封套，所述不锈钢水冷真空腔室上方设有提拉机构；

所述提拉机构包括竖直固定安装在不锈钢水冷真空腔室上端的滑轨，滑轨上滑动连接有滑块，滑块水平向外侧延伸并水平固定连接有连动板，连动板上竖直贯通开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺柱，螺柱向下延伸并通过转动座转动连接在不锈钢水冷真空腔室的顶壁上，所述螺柱向上延伸并同轴固定连接在伺服电机的输出端上，伺服电机通过电机支架竖直固定安装在滑轨上端，所述连动板远离滑块一侧的侧壁上固定连接有安装套，安装套对应密封套的上方位置竖直贯通开设有与提拉杆相匹配的安装孔，安装孔上端贯通连接有固定套。

优选的，所述不锈钢水冷真空腔室的顶壁和滑轨之间连接有加强肋。

优选的，所述连动板和安装套之间固定连接有多个加强筋。

优选的，所述固定套的环形侧壁上贯通开设有多个固定孔，固定孔内均螺纹连接有螺栓，螺栓向相近的一侧延伸并固定连接有固定块，多个螺栓向相背离的一侧延伸并螺纹套设有锁定螺母。

更优选的，多个所述固定块的相近一侧均设有防滑软垫。