[实用新型]一种单晶硅棒自动清洗装置有效
| 申请号： | 202222229194.5 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN218167929U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张海明;杨旭洲;张昊铭;危晨;郭俊文 | 申请（专利权）人： | 天津市环智新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/00;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300450 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶硅棒自动清洗装置，包括：基体框架、喷淋装置、擦洗装置和喷气装置，所述基体框架内侧底部被设置为放置晶棒；多组所述喷淋装置、多组所述擦洗装置和多组所述喷气装置均设置于所述基体框架除去内侧底部的侧壁和顶面；所述喷淋装置被设置为喷淋所述晶棒；所述擦洗装置被设置为擦洗所述晶棒；所述喷气装置被设置为吹扫所述晶棒。本实用新型的有益效果是通过依次运行的喷淋装置、擦洗装置、铲刀以及喷气装置对切割之前的晶棒进行表面残存的杂质、胶点、油污进行清理，提高硅片切割精度和质量，生产效率高，降低了人工成本，满足日益增长的产量需求；采用多方向喷淋、擦洗并配合气吹的方式，可有效将单晶表面杂质去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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