[实用新型]一种单晶硅棒自动清洗装置有效
| 申请号： | 202222229194.5 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN218167929U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张海明;杨旭洲;张昊铭;危晨;郭俊文 | 申请（专利权）人： | 天津市环智新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/00;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300450 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 自动 清洗 装置 | ||
1.一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于，包括：基体框架、喷淋装置、擦洗装置和喷气装置，所述基体框架内侧底部被设置为放置晶棒；
多组所述喷淋装置、多组所述擦洗装置和多组所述喷气装置均设置于所述基体框架除去内侧底部的侧壁和顶面；
所述喷淋装置被设置为喷淋所述晶棒；
所述擦洗装置被设置为擦洗所述晶棒；
所述喷气装置被设置为吹扫所述晶棒。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述基体框架为内部设置有放置空间的框型结构；
所述基体框架的内侧底部设置有传输组件，用于传输所述晶棒；
所述传输组件沿所述基体框架的长边方向贯穿并伸出所述基体框架设置。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述传输组件长度方向的一端设置有传感器光源和光源感应器，用于检测所述传输组件上是否存在所述晶棒。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述传感器光源和所述光源感应器设置于所述传输组件的不同侧；
所述传感器光源和所述光源感应器同高度设置于所述传输组件的上方。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述基体框架的长边方向的内侧壁靠近底部的一端设置有铲刀，用于去除放置所述晶棒的料座上的胶粒。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述喷淋装置沿所述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有多组。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述擦洗装置沿所述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有多组。
8.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述喷气装置沿所述基体框架的长边方向的两侧壁及顶面设置有多组。
9.根据权利要求8所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述基体框架的长边方向的两侧壁靠近底部的一端还设置有多组所述喷气装置。
10.根据权利要求9所述的一种单晶硅棒自动清洗装置，其特征在于：所述喷气装置平行所述铲刀设置于所述铲刀的上方，用于吹扫所述铲刀铲下的胶粒。
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