[实用新型]一种自动化半导体芯片光刻机

摘要

本实用新型公开了一种自动化半导体芯片光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体的底端设有若干个支撑柱，所述光刻机本体的底端设有一对连接座，两个所述连接座之间设有一对连接轴，其中一个所述连接轴表面设有螺纹，其中一个所述连接座的外壁设有与其中一个所述连接轴传动连接的电机一，两个所述连接轴均套设有滑座；有益效果为：通过在光刻机的底部设置连接座、带有螺纹的连接轴、电机一、滑座、连接盒、转筒、电机二、齿轮、外齿圈等，不但可以带动多个风扇左右移动，同时还可以调节每个风扇的位置，使得风扇不但可以吹地面还可以吹刻光机的地面，具有散热和干燥两种效果，保证光刻机能够稳定性的运行。