[实用新型]一种自动化半导体芯片光刻机

说明书

本实用新型公开了一种自动化半导体芯片光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体的底端设有若干个支撑柱，所述光刻机本体的底端设有一对连接座，两个所述连接座之间设有一对连接轴，其中一个所述连接轴表面设有螺纹，其中一个所述连接座的外壁设有与其中一个所述连接轴传动连接的电机一，两个所述连接轴均套设有滑座；有益效果为：通过在光刻机的底部设置连接座、带有螺纹的连接轴、电机一、滑座、连接盒、转筒、电机二、齿轮、外齿圈等，不但可以带动多个风扇左右移动，同时还可以调节每个风扇的位置，使得风扇不但可以吹地面还可以吹刻光机的地面，具有散热和干燥两种效果，保证光刻机能够稳定性的运行。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体来说，涉及一种自动化半导体芯片光刻机。

背景技术

光刻机又称掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造半导体芯片的核心装置。光刻机采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。同时，光刻机根据操作的简便性分为三种，手动、半自动以及全自动。

在阴雨天气时，室内会产生一定的潮湿，目前的自动化半导体芯片光刻机体积较大，且与地面间隙较小，自动化半导体芯片光刻机的底部潮湿较为严重，使得光刻机的底部外壳会出现生锈腐烂现象。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种自动化半导体芯片光刻机，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种自动化半导体芯片光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体的底端设有若干个支撑柱，所述光刻机本体的底端设有一对连接座，两个所述连接座之间设有一对连接轴，其中一个所述连接轴表面设有螺纹，其中一个所述连接座的外壁设有与其中一个所述连接轴传动连接的电机一，两个所述连接轴均套设有滑座，两个所述滑座之间连接有一对连接杆，两个所述滑座的正面均设有通槽，两个所述通槽内的底端均设有限位座，两个所述限位座上均设有与其相匹配的连接盒，每个所述连接盒的顶端均设有卡槽，每个所述滑座的顶端均设有与所述卡槽相匹配的连接机构，其中一个所述连接座的顶端设有一对推杆，两个所述连接盒连接有转筒，且所述转筒贯穿两个所述连接盒，所述转筒的底端设有若干个风扇，且两个所述连接盒9之间固定连接有一对固定杆。

优选的，所述连接机构包括位于所述通槽内部顶端的限位凹槽，所述限位凹槽上设有与所述卡槽相匹配的卡块，所述卡块的顶端设有延伸至所述滑座上方的螺纹旋杆，且所述螺纹旋杆的底端与所述卡块的顶端活动连接，所述螺纹旋杆的顶端设有与所述推杆相匹配的凸条，所述滑座的顶端设有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端设有贯穿至所述凸条上方的凸柱，所述伸缩杆绕有弹簧，且所述弹簧的两端分别与所述凸柱以及所述伸缩杆相连接。

优选的，所述伸缩杆为弧形结构，且所述伸缩杆与所述螺纹旋杆为同一轴心。

优选的，后端其中一个所述支撑柱的一侧设有定位挡片，所述定位挡片上设有通孔，所述转筒的后端设有与所述通孔相匹配的伸缩插杆。

优选的，其中一个所述连接盒的内壁安装有电机二，所述电机二的正面设有齿轮，所述齿轮的侧壁设有与其相啮合的外齿圈，且所述外齿圈固定套在所述转筒上。

优选的，其中一个所述连接盒的内壁安装有电池一，所述转筒的前端设有充电接口，所述转筒上设有开口，所述电池一上设有导线，且所述导线与每个所述风扇、所述电机二、所述充电接口均为电性连接。

优选的，其中一个所述连接座的外壁设有电池二，且所述电池二与所述电机一为电性连接。

本实用新型的有益效果为：