[实用新型]一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202222094782.2 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN217862780U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 罗小庆;罗志明;陈爱川;陈卫华 | 申请（专利权）人： | 广东盈泰精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/00 | 分类号： | B29C63/00 |
| 代理公司： | 广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671 | 代理人： | 吴忠芬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域。尤其是一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体顶部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆圆周外壁固设有安装套，所述安装套圆周外壁呈环形对称结构固设有多个清洁机构，所述螺纹杆内壁套设有水管，抽排水装置通过软管向水管内部注入清洗液，清洗液通过连接管和喷头喷洒至镀膜机本体内壁，同时通过电机带动螺纹杆转动，使得螺纹杆向镀膜机本体内部移动，螺纹杆移动时通过连接板带动左侧的安装板移动，螺纹杆转动时通过安装套带动多个清洁机构转动，使得清洁机构上的清洁刷对镀膜机本体内壁进行清洁，从而能够提高对镀膜机本体清洗效果以及清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回转 分区 隔离 制备 多层 ar 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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