[实用新型]一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备

说明书

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域。尤其是一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体顶部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆圆周外壁固设有安装套，所述安装套圆周外壁呈环形对称结构固设有多个清洁机构，所述螺纹杆内壁套设有水管，抽排水装置通过软管向水管内部注入清洗液，清洗液通过连接管和喷头喷洒至镀膜机本体内壁，同时通过电机带动螺纹杆转动，使得螺纹杆向镀膜机本体内部移动，螺纹杆移动时通过连接板带动左侧的安装板移动，螺纹杆转动时通过安装套带动多个清洁机构转动，使得清洁机构上的清洁刷对镀膜机本体内壁进行清洁，从而能够提高对镀膜机本体清洗效果以及清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发等等，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

U型回转分区隔离制备多层AR膜系用的真空镀膜机在使用时，真空罐内壁需要定期进行清洗，但是传统的清洗装置大多采用水枪冲洗的方式进行操作，清洗效果较差，为此，我们提出一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备。

实用新型内容

基于上述所提到的技术问题，本实用新型提出了一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备。

本实用新型提出的一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体顶部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆圆周外壁固设有安装套，所述安装套圆周外壁呈环形对称结构固设有多个清洁机构，所述螺纹杆内壁套设有水管，所述螺纹杆内壁转动连接有连接管，所述连接管外端固设有喷头，所述镀膜机本体外壁固设有安装架，所述安装架两侧分别设有安装板，位于左侧的所述安装板顶部固设有电机，所述电机输出端和螺纹杆表面均固设有齿轮，位于右侧的所述安装板顶部固设有抽排水装置，所述抽排水装置上固设有软管，位于左侧的所述安装板靠内一侧固设有连接板。

优选地，所述连接管外端穿过螺纹杆并延伸至其外侧。

通过上述技术方案，能够便于对喷头进行安装。

优选地，位于左侧的所述安装板与安装架内壁滑动连接，位于右侧的所述安装板与安装架连接固定。

通过上述技术方案，能够便于螺纹杆通过连接板带动左侧的安装板沿着安装架向下滑动。

优选地，两个所述齿轮通过齿轮链传动连接，所述软管与水管连接固定。

通过上述技术方案，通过电机能够带动螺纹杆转动。

优选地，所述连接管底部固设有抽水管，所述抽水管圆周外壁固设有单向阀，所述连接板与螺纹杆转动连接。

通过上述技术方案，通过抽排水装置反向抽水，此时单向阀打开，通过抽水管将镀膜机本体内部清洗液抽出。

优选地，所述清洁机构包括有固定杆，所述固定杆内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆圆周外壁固设有限位套，所述滑杆圆周外壁套设有弹簧，所述限位套与固定杆内壁滑动连接，所述弹簧两端分别与限位套和固定杆内壁连接固定。

通过上述技术方案，清洁刷向镀膜机本体内部滑动时，会推动滑杆向固定杆内壁滑动，并通过限位套对弹簧进行挤压，在弹簧的作用下，使得清洁刷与镀膜机本体内壁紧密贴合。

优选地，所述滑杆外端固设有清洁刷，所述清洁刷外侧壁开设有导向槽。

通过上述技术方案，通过设置导向槽，能够便于清洁刷滑进镀膜机本体内部。

本实用新型中的有益效果为：