[实用新型]一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202222094782.2 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN217862780U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 罗小庆;罗志明;陈爱川;陈卫华 | 申请（专利权）人： | 广东盈泰精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/00 | 分类号： | B29C63/00 |
| 代理公司： | 广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671 | 代理人： | 吴忠芬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 回转 分区 隔离 制备 多层 ar 真空镀膜 设备 | ||
1.一种U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，包括镀膜机本体(1)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)顶部螺纹连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)圆周外壁固设有安装套(3)，所述安装套(3)圆周外壁呈环形对称结构固设有多个清洁机构(4)，所述螺纹杆(2)内壁套设有水管(5)，所述螺纹杆(2)内壁转动连接有连接管(6)，所述连接管(6)外端固设有喷头(7)，所述镀膜机本体(1)外壁固设有安装架(10)，所述安装架(10)两侧分别设有安装板(11)，位于左侧的所述安装板(11)顶部固设有电机(12)，所述电机(12)输出端和螺纹杆(2)表面均固设有齿轮(13)，位于右侧的所述安装板(11)顶部固设有抽排水装置(14)，所述抽排水装置(14)上固设有软管(15)，位于左侧的所述安装板(11)靠内一侧固设有连接板(16)。
2.根据权利要求1所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：所述连接管(6)外端穿过螺纹杆(2)并延伸至其外侧。
3.根据权利要求1所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：位于左侧的所述安装板(11)与安装架(10)内壁滑动连接，位于右侧的所述安装板(11)与安装架(10)连接固定。
4.根据权利要求1所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：两个所述齿轮(13)通过齿轮链传动连接，所述软管(15)与水管(5)连接固定。
5.根据权利要求1所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：所述连接管(6)底部固设有抽水管(8)，所述抽水管(8)圆周外壁固设有单向阀(9)，所述连接板(16)与螺纹杆(2)转动连接。
6.根据权利要求1所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：所述清洁机构(4)包括有固定杆(401)，所述固定杆(401)内壁滑动连接有滑杆(402)，所述滑杆(402)圆周外壁固设有限位套(403)，所述滑杆(402)圆周外壁套设有弹簧(406)，所述限位套(403)与固定杆(401)内壁滑动连接，所述弹簧(406)两端分别与限位套(403)和固定杆(401)内壁连接固定。
7.根据权利要求6所述的U型回转分区隔离制备多层AR膜系的真空镀膜设备，其特征在于：所述滑杆(402)外端固设有清洁刷(404)，所述清洁刷(404)外侧壁开设有导向槽(405)。
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