[实用新型]一种晶圆运输装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆运输装置，至少包括：晶圆仓模块包括底盘、支撑框架、顶板以及提手，支撑框架内设置有用于固定晶圆且等间距分布的沟槽；缓冲模块包括第一底板、第二底板以及挡板；第二底板与所述第一底板的第一端紧密连接，且与第一底板的第一端之间的夹角大于90度且小于180度；挡板与第一底板的第二端紧密连接；第一固定模块设置在支撑框架的边缘；第二固定装置设置在挡板朝向第一底板的一侧。结构简单，操作简便，能够避免减薄后的晶圆在运输途中的震动。采用模块化设计，适用于各种尺寸的晶圆运输，尤其在8寸减薄晶圆的运输操作中，能够保证安全稳定，有效避免对8寸减薄晶圆的损伤。