[实用新型]一种加热缓存装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202221967891.4 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN217809648U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨启忠;邢涛;余海春;陈韶华 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热缓存装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。加热缓存装置包括腔体和设于腔体内的加热缓存单元，腔体设有搬运口，加热缓存单元包括能够绕中心线旋转的安装骨架和至少两个安装板组件，至少两个安装板组件间隔连接于安装骨架的外周，安装板组件用于连接基板，且基板设于两个安装板组件之间形成的间隔空隙内，且基板的基板面朝向安装板组件，间隔空隙能够朝向搬运口，基板在腔体内能够被加热。本实用新型降低搬运口的开口面积，从而减少能量消耗及占用面积，提高对基板的加热效率，以及提高空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 缓存 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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