[实用新型]一种加热缓存装置及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种加热缓存装置，其特征在于，包括腔体(1)和设于所述腔体(1)内的加热缓存单元(2)，所述腔体(1)设有搬运口，所述加热缓存单元(2)包括：

安装骨架(21)，能够绕中心线旋转；

至少两个安装板组件(22)，至少两个所述安装板组件(22)间隔连接于所述安装骨架(21)的外周，所述安装板组件(22)用于连接基板(100)，且所述基板(100)设于两个所述安装板组件(22)之间形成的间隔空隙(2A)内，且所述基板(100)的基板面朝向所述安装板组件(22)，所述间隔空隙(2A)能够朝向所述搬运口，所述基板(100)在所述腔体(1)内能够被加热。

2.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装骨架(21)呈圆环状，至少两个所述安装板组件(22)均匀间隔设于所述安装骨架(21)的外周，至少两个所述安装板组件(22)与所述安装骨架(21)的夹角相同。

3.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装骨架(21)包括中心架体(211)和支撑板(212)，所述安装板组件(22)一端连接于所述中心架体(211)，所述支撑板(212)环设于所述中心架体(211)的外周，所述支撑板(212)支撑连接于两个所述安装板组件(22)之间。

4.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装板组件(22)用于对所述基板(100)加热。

5.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装板组件(22)单侧加热或双侧加热，所述基板(100)的基板面与相邻两个所述安装板组件(22)中的一个的夹角角度不超过10°。

6.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装板组件(22)包括固定座(221)和板式加热器(222)，所述固定座(221)连接于所述安装骨架(21)，所述板式加热器(222)连接于所述固定座(221)，所述板式加热器(222)用于对所述基板(100)加热。

7.根据权利要求6所述的加热缓存装置，其特征在于，还包括密封组件(3)，所述板式加热器(222)通过电阻丝引出端(2221)穿出所述腔体(1)与外部连接，所述电阻丝引出端(2221)和所述腔体(1)之间设有所述密封组件(3)。

8.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述腔体(1)包括两个相分隔且对称设置的腔室，两个所述腔室内分别设有所述加热缓存单元(2)，每个所述腔室设有所述搬运口。

9.根据权利要求1所述的加热缓存装置，其特征在于，所述搬运口包括搬入口和搬出口。

10.根据权利要求1-9任一项所述的加热缓存装置，其特征在于，所述安装板组件(22)不指向所述安装骨架(21)的中心线。

11.根据权利要求1-9任一项所述的加热缓存装置，其特征在于，所述加热缓存单元(2)还包括连接组件(23)，所述连接组件(23)包括挂钩(231)和载台(232)，所述载台(232)能够挂载于所述挂钩(231)，所述载台(232)用于承载所述基板(100)，所述挂钩(231)连接于所述安装板组件(22)上。

12.根据权利要求1-9任一项所述的加热缓存装置，其特征在于，所述加热缓存单元(2)还包括连接组件(23)，所述连接组件(23)用于连接所述安装板组件(22)和所述基板(100)，所述连接组件(23)用于连接所述基板(100)的安装基准面指向所述安装骨架(21)的中心线。