[实用新型]一种加热缓存装置及真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种加热缓存装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。加热缓存装置包括腔体和设于腔体内的加热缓存单元，腔体设有搬运口，加热缓存单元包括能够绕中心线旋转的安装骨架和至少两个安装板组件，至少两个安装板组件间隔连接于安装骨架的外周，安装板组件用于连接基板，且基板设于两个安装板组件之间形成的间隔空隙内，且基板的基板面朝向安装板组件，间隔空隙能够朝向搬运口，基板在腔体内能够被加热。本实用新型降低搬运口的开口面积，从而减少能量消耗及占用面积，提高对基板的加热效率，以及提高空间利用率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种加热缓存装置及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备中，一般地在镀膜腔之前设置加热腔，在镀膜腔进行真空镀膜之前，通过加热腔对基板进行加热，达到温度后再将加热腔的基板转移到镀膜腔内进行镀膜，提高了镀膜效果。现有技术中，基板的一面朝向并穿过腔体的搬运口以挂载在加热腔中，搬运口的开口尺寸大于基板的横截面尺寸，因此会导致搬运口尺寸较大会增加能量消耗，影响了加热效率。并且设于搬运口的法兰结构尺寸也会占用较大面积，导致加热腔及真空镀膜设备占用空间较大，降低了空间利用率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热缓存装置及真空镀膜设备，降低搬运口的开口面积，从而减少能量消耗及占用面积，提高对基板的加热效率，以及提高空间利用率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，提供一种加热缓存装置，包括腔体和设于所述腔体内的加热缓存单元，所述腔体设有搬运口，所述加热缓存单元包括：

安装骨架，能够绕中心线旋转；

至少两个安装板组件，至少两个所述安装板组件间隔连接于所述安装骨架的外周，所述安装板组件用于连接基板，且所述基板设于两个所述安装板组件之间形成的间隔空隙内，且所述基板的基板面朝向所述安装板组件，所述间隔空隙能够朝向所述搬运口，所述基板在所述腔体内能够被加热。

在一些可能的实施方式中，所述安装骨架呈圆环状，至少两个所述安装板组件均匀间隔设于所述安装骨架的外周，至少两个所述安装板组件与所述安装骨架的夹角相同。

在一些可能的实施方式中，所述安装骨架包括中心架体和支撑板，所述安装板组件一端连接于所述中心架体，所述支撑板环设于所述中心架体的外周，所述支撑板支撑连接于两个所述安装板组件之间。

在一些可能的实施方式中，所述安装板组件用于对所述基板加热。

在一些可能的实施方式中，所述安装板组件单侧加热或双侧加热，所述基板的基板面与相邻两个所述安装板组件中的一个的夹角角度不超过10°。

在一些可能的实施方式中，所述安装板组件包括固定座和板式加热器，所述固定座连接于所述安装骨架，所述板式加热器连接于所述固定座，所述板式加热器用于对所述基板加热。

在一些可能的实施方式中，还包括密封组件，所述板式加热器通过电阻丝引出端穿出所述腔体与外部连接，所述电阻丝引出端和所述腔体之间设有所述密封组件。

在一些可能的实施方式中，所述腔体包括两个相分隔且对称设置的腔室，两个所述腔室内分别设有所述加热缓存单元，每个所述腔室设有所述搬运口。

在一些可能的实施方式中，所述搬运口包括搬入口和搬出口。

在一些可能的实施方式中，所述安装板组件不指向所述安装骨架的中心线。

在一些可能的实施方式中，所述加热缓存单元还包括连接组件，所述连接组件包括挂钩和载台，所述载台能够挂载于所述挂钩，所述载台用于承载所述基板，所述挂钩连接于所述安装板组件上。