[实用新型]一种基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置有效
| 申请号： | 202221649074.4 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN218412790U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡衡;王辉文;严黎明 | 申请（专利权）人： | 湖北九峰山实验室 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，包括：真空密闭容器；设置于真空密闭容器内，用于放置晶圆的工作台；设置于真空密闭容器内，用于探测放置于工作台的晶圆的探测模块。在本方案中，通过在真空密闭容器内进行晶圆的高功率测试，以便于采用真空的方式来防止高压电弧放电效应，从而避免晶圆浸泡绝缘油所带来的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空 密闭 容器 功率 探测 装置 | ||
【主权项】：
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