[实用新型]一种基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置有效
| 申请号： | 202221649074.4 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN218412790U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡衡;王辉文;严黎明 | 申请（专利权）人： | 湖北九峰山实验室 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空 密闭 容器 功率 探测 装置 | ||
1.一种基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，包括：
真空密闭容器；
设置于所述真空密闭容器内，用于放置晶圆(14)的工作台；
设置于所述真空密闭容器内，用于探测放置于所述工作台的晶圆(14)的探测模块；
所述真空密闭容器包括真空密闭腔体(1)和气泵(2)；
所述真空密闭腔体(1)开设有可单向流通的惰性气体入口(3)，所述真空密闭腔体(1)开设有用于与所述气泵(2)的进气口连接的出气口(4)；所述工作台和所述探测模块均设置于所述真空密闭腔体(1)内。
2.根据权利要求1所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述真空密闭容器还包括：
设置于所述真空密闭腔体(1)的内壁的检漏仪(5)。
3.根据权利要求1所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述探测模块包括探针臂(6)、探针(7)和晶圆托盘(8)；
所述晶圆托盘(8)设置于所述工作台的顶部，用于放置所述晶圆(14)并为其提供高电压；所述探针(7)设置于所述探针臂(6)，且用于与所述晶圆(14)顶部连接并为其提供低电压。
4.根据权利要求3所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述探测模块还包括：
设置于所述探针臂(6)与所述晶圆托盘(8)之间，且设有用于同所述探针(7)配合的穿孔的探针台(9)。
5.根据权利要求3所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，还包括：
设置于所述真空密闭容器内，且连接在所述晶圆托盘(8)与所述工作台的顶部之间的温度调节台(10)。
6.根据权利要求1所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，还包括：
贯穿设置于所述真空密闭容器的器壁，用于穿过所述探测模块的电气连接线的封接连接器(11)。
7.根据权利要求1所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述工作台为平移升降工作台。
8.根据权利要求7所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述平移升降工作台包括XY向移动机构(12)和Z向移动机构(13)；
所述Z向移动机构(13)设置于所述XY向移动机构(12)活动端的顶部，所述Z向移动机构(13)活动端的顶部用于放置所述晶圆(14)。
9.根据权利要求8所述的基于真空密闭容器内的高功率晶圆探测装置，其特征在于，所述XY向移动机构(12)和/或所述Z向移动机构(13)包括丝杠电机组件。
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