[实用新型]一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置

摘要

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置。所述碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置包括：冷凝装置和与所述冷凝装置连接有第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管；输送装置，所述输送装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管中输送，所述输送装置包括送水管。本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置通过冷水在第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管，完成对化学气相沉积炉的降温，最后输入到冷凝装置中冷凝，实现循环使用，水流方向为自中央向顶部和底部位置流动，换热效果更好，方便使用。