[实用新型]一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置

说明书

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置。所述碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置包括：冷凝装置和与所述冷凝装置连接有第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管；输送装置，所述输送装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管中输送，所述输送装置包括送水管。本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置通过冷水在第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管，完成对化学气相沉积炉的降温，最后输入到冷凝装置中冷凝，实现循环使用，水流方向为自中央向顶部和底部位置流动，换热效果更好，方便使用。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，尤其涉及一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

在碳化硅涂层生产加工的过程中，就需要使用到化学气相沉积炉进行化学气相沉积，以方便碳化硅涂层的生产。

在现有技术中，在通过化学气相沉积炉进行碳化硅涂层生产过程中，通常采用水冷的方式为化学气相沉积炉散热，但是仅仅将一根管道缠绕在化学气相沉积炉外部换热，热水在管道中流动会逐步升温，使得对管道后端部分的位置降温能力变差，所能起到的降温能力不足。

因此，有必要提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，解决了仅仅将一根管道缠绕在化学气相沉积炉外部换热，热水在管道中流动会逐步升温，使得对管道后端部分的位置降温能力变差的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置包括：冷凝装置和与所述冷凝装置连接有第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管；

输送装置，所述输送装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管中输送，所述输送装置包括送水管，所述送水管的一端固定连接有第一分流输送管和第二分流输送管；

环流装置，所述环流装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述冷凝装置中输送，所述环流装置包括环流管，所述环流管的一端固定连接有第一散热管和第二散热管。

优选的，所述送水管固定于所述冷凝装置的一端，所述第一分流输送管和第二分流输送管分别于所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管固定连接。

优选的，所述环流管固定于所述冷凝装置的一端，所述第一散热管和第二散热管分别与所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管固定连接。

优选的，所述冷凝装置的一侧设置有安装板，所述安装板上开设有多个固定孔。

优选的，所述安装板的一侧设置有安装架，所述安装架用于将所述冷凝装置固定到所述安装板的一侧。

优选的，所述安装板的顶部和底部均固定连接有连接支架，所述连接支架的一端固定连接有连接管套。

优选的，还包括：进水补充管和热水取出管，所述进水补充管固定于所述送水管的底部，所述热水取出管固定于所述环流管的底部，所述进水补充管和所述热水取出管上均设置有控制阀。

与相关技术相比较，本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，通过冷水在第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管，完成对化学气相沉积炉的降温，最后输入到冷凝装置中冷凝，实现循环使用，水流方向为自中央向顶部和底部位置流动，换热效果更好，方便使用。

附图说明