[实用新型]一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置

权利要求书

1.一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，包括：

冷凝装置和与所述冷凝装置连接有第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管；

输送装置，所述输送装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管中输送，所述输送装置包括送水管，所述送水管的一端固定连接有第一分流输送管和第二分流输送管；

环流装置，所述环流装置固定于所述冷凝装置的一端用于将水向所述冷凝装置中输送，所述环流装置包括环流管，所述环流管的一端固定连接有第一散热管和第二散热管。

2.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，所述送水管固定于所述冷凝装置的一端，所述第一分流输送管和第二分流输送管分别于所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管固定连接。

3.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，所述环流管固定于所述冷凝装置的一端，所述第一散热管和第二散热管分别与所述第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管固定连接。

4.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，所述冷凝装置的一侧设置有安装板，所述安装板上开设有多个固定孔。

5.根据权利要求4所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，所述安装板的一侧设置有安装架，所述安装架用于将所述冷凝装置固定到所述安装板的一侧。

6.根据权利要求5所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，所述安装板的顶部和底部均固定连接有连接支架，所述连接支架的一端固定连接有连接管套。

7.根据权利要求1所述的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置，其特征在于，还包括：进水补充管和热水取出管，所述进水补充管固定于所述送水管的底部，所述热水取出管固定于所述环流管的底部，所述进水补充管和所述热水取出管上均设置有控制阀。