[实用新型]一种双面研磨机盘面修整轮

摘要

本实用新型提供了一种双面研磨机盘面修整轮。它为修整轮内轮、修整轮外轮组合结构，修整轮外轮为一体式整体结构，修整轮内轮为分体式单独结构，修整轮内轮的上下表面设置有沟槽结构，修整轮内轮边缘设置有导边结构，修整轮外轮均匀交错分布有内轮孔与流液孔；修整轮内轮设置在修整轮外轮内轮孔内，修整外轮齿圈分别与蓝宝石双面研磨机的太阳轮齿圈和外齿圈相吻合。本实用新型通过结构的设置可以保证蓝宝石双面研磨机盘面的形态修整精度更接近于实际的蓝宝石晶片双面研磨加工过程所需的盘面形态，解决了目前修整轮盘面修整效果与实际使用需求相偏差的问题。