[实用新型]一种双面研磨机盘面修整轮

说明书

本实用新型提供了一种双面研磨机盘面修整轮。它为修整轮内轮、修整轮外轮组合结构，修整轮外轮为一体式整体结构，修整轮内轮为分体式单独结构，修整轮内轮的上下表面设置有沟槽结构，修整轮内轮边缘设置有导边结构，修整轮外轮均匀交错分布有内轮孔与流液孔；修整轮内轮设置在修整轮外轮内轮孔内，修整外轮齿圈分别与蓝宝石双面研磨机的太阳轮齿圈和外齿圈相吻合。本实用新型通过结构的设置可以保证蓝宝石双面研磨机盘面的形态修整精度更接近于实际的蓝宝石晶片双面研磨加工过程所需的盘面形态，解决了目前修整轮盘面修整效果与实际使用需求相偏差的问题。

技术领域

本实用新型属于用于蓝宝石双面研磨加工工装技术领域，具体涉及一种双面研磨机盘面修整轮。

背景技术

蓝宝石单晶材料作为现代工业重要的基础材料，其在化学、电学、机械、光学、表面特性、热力学以及耐久性等方面，均具有优越特性。由于蓝宝石具有生产技术成熟、器件质量较好；化学稳定性好，能够运用于高温生长过程中；并且机械强度高，易于处理和清洗的特点，同时，在紫外、红外、可见光、微波波段均有良好的透过率，所以蓝宝石晶体材料被广泛应用于LED衬底材料、各类消费类电子产品、高强度激光、智能穿戴设备、航空航天及大规模集成电路等领域。

近几年来，由于OLED、QLED、Mini LED及Micro LED等显示技术的陆续出现，使得集成电路芯片封装技术向更小型化、更高密度、更高性能、更多功能的方向发展，对应的晶圆片质量要求也随之提高。因此，开展蓝宝石晶片的高质量加工技术的研发成为目前发展的必要任务。

蓝宝石晶片的双面研磨技术主要是针对切割片表面线切痕和损伤层的去除、修整晶片的平整度及翘曲度，为后续蓝宝石晶片的双面化学抛光打好基础。双面研磨加工后，研磨盘盘面由于压力、转速等通过晶片的作用使研磨盘的盘面平整度有所变化，影响后续蓝宝石晶片的加工质量。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种针对上述需求及实际情况，通过结构的设置可以保证蓝宝石双面研磨机盘面的形态修整精度更接近于实际的蓝宝石晶片双面研磨加工过程所需的盘面形态，解决了目前修整轮盘面修整效果与实际使用需求相偏差问题的双面研磨机盘面修整轮。

本实用新型的目的是这样实现的：它为修整轮内轮、修整轮外轮组合结构，修整轮外轮为一体式整体结构，修整轮内轮为分体式单独结构，修整轮内轮的上下表面设置有沟槽结构，修整轮内轮厚度高于修整轮外轮厚度，修整轮内轮与修整轮外轮相配合运转过程中修整轮内轮表面沟槽结构为导流和固液作用，沟槽结构包括修整轮内轮沟槽和修整轮内轮沟脊；修整轮内轮边缘设置有导边结构，修整轮内轮与修整轮外轮相配合运转过程中，修整轮内轮沟槽结构结合导边结构能够充分模拟实际运行过程中蓝宝石晶片表面状态进行盘面修整；修整轮外轮均匀交错分布有内轮孔与流液孔；修整轮内轮设置在修整轮外轮内轮孔内，修整外轮齿圈分别与蓝宝石双面研磨机的太阳轮齿圈和外齿圈相吻合。

使用此修整轮进行蓝宝石双面研磨机的盘面修整，通过内、外修整轮的配合运动可以保证蓝宝石双面研磨机盘面的形态修整精度更接近于实际的蓝宝石晶片双面研磨加工过程所需的盘面形态，提高蓝宝石晶片的双面研磨加工质量。

本实用新型还有这样一些技术特征：

1、所述的修整轮外轮的外轮直径420-450mm，厚度30mm，内轮孔直径90-200mm，流液孔直径5-30mm；

2、所述的修整轮内轮的内轮直径90-200mm，厚度45mm；修整轮内轮导边结构的导边长度10-30mm，导边高度85-200mm；

3、所述的修整轮内轮的沟槽宽度5mm，沟脊宽度5mm，沟槽深度10mm；

4、所述的所述的修整轮四套为一组，其平整度为0.01mm以内。

本实用新型的有益效果有：

（1）本实用新型利用内、外修整轮的配合运动，提升了蓝宝石双面研磨机盘面的形态修整精度。