[实用新型]一种双面研磨机盘面修整轮

权利要求书

1.一种双面研磨机盘面修整轮，其特征在于它为修整轮内轮、修整轮外轮组合结构，修整轮外轮为一体式整体结构，修整轮内轮为分体式单独结构，修整轮内轮的上下表面设置有沟槽结构，修整轮内轮厚度高于修整轮外轮厚度，修整轮内轮与修整轮外轮相配合运转过程中修整轮内轮表面沟槽结构为导流和固液作用，沟槽结构包括修整轮内轮沟槽和修整轮内轮沟脊；修整轮内轮边缘设置有导边结构，修整轮内轮与修整轮外轮相配合运转过程中，修整轮内轮沟槽结构结合导边结构能够充分模拟实际运行过程中蓝宝石晶片表面状态进行盘面修整；修整轮外轮均匀交错分布有内轮孔与流液孔；修整轮内轮设置在修整轮外轮内轮孔内，修整外轮齿圈分别与蓝宝石双面研磨机的太阳轮齿圈和外齿圈相吻合。

2.根据权利要求1所述的一种双面研磨机盘面修整轮，其特征在于所述的修整轮外轮的外轮直径420-450mm，厚度30mm，内轮孔直径90-200mm，流液孔直径5-30mm。

3.根据权利要求2所述的一种双面研磨机盘面修整轮，其特征在于所述的修整轮内轮的内轮直径90-200mm，厚度45mm；修整轮内轮导边结构的导边长度10-30mm，导边高度85-200mm。

4.根据权利要求3所述的一种双面研磨机盘面修整轮，其特征在于所述的修整轮内轮的沟槽宽度5mm，沟脊宽度5mm，沟槽深度10mm。

5.根据权利要求4所述的一种双面研磨机盘面修整轮，其特征在于所述的修整轮四套为一组，其平整度为0.01mm以内。