[实用新型]一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器

摘要

本实用新型公开了一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，本实用新型中：微波发生器发生的微波传输至微波耦合器；斜面上设有若干进气口；腔体的底面设有出气口；腔体的底面中间设有基座；基座上安装有钼托；基座的中间设有辅助出气管；辅助出气管的上端设有若干支气管；支气管的顶部开口设置在卡槽底面上；安装底座的下端面均匀设有通气槽。本实用新型通过在基座上设置辅助出气管，通过在支气管和通气槽配合保证了基座上方的气体能被均匀的从通气槽、出气口、辅助出气管中抽出。使腔体内的气流方向更加集中于基座表面，加速等离子中物质的交换，提高沉积效率，同时基片台边缘的部分热量也会被气流带走，避免了边缘温度过高现象。