[实用新型]一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器

权利要求书

1.一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，包括腔体(1)和微波发生器(3)，所述腔体(1)的顶部安装有微波耦合器(4)；

所述微波发生器(3)发生的微波传输至微波耦合器(4)；所述微波耦合器(4)的底部设有介电窗口(401)；所述微波耦合器(4)通过介电窗口(401)将微波进给至腔体(1)内；

所述腔体(1)的上端为斜面(103)；所述斜面(103)上对称安装有若干进气缓冲装置(2)；所述进气缓冲装置(2)的一侧与进气管道(201)联通，所述进气缓冲装置(2)与斜面(103)的连接处设有若干进气口(101)；

所述腔体(1)的底面两侧分别设有若干出气口(102)；所述腔体(1)的底面中间设有基座(6)；所述基座(6)上安装有一钼托(7)；

所述基座(6)的上表面设有一用于安装钼托(7)的卡槽(601)；所述基座(6)的中间设有一辅助出气管(603)；所述辅助出气管(603)的上端设有若干支气管(604)；所述支气管(604)的顶部开口设置在卡槽(601)底面上；

钼托(7)的下表面设有安装底座(701)；所述安装底座(701)的下端面均匀设有若干用于通气的通气槽(703)。

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，所述微波发生器(3)的出口端设有一三销钉调配器(301)。

3.根据权利要求1所述的一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，所述微波耦合器(4)的中间设有一天线(5)；所述微波耦合器(4)和天线(5)内均设有可循环的冷却介质。

4.根据权利要求1所述的一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，所述卡槽(601)的内底面中间设有一定位凸起(602)。

5.根据权利要求4所述的一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，所述安装底座(701)的下表面中间设有一定位槽(702)；所述定位槽(702)与定位凸起(602)配合。

6.根据权利要求1所述的一种用于金刚石合成的微波等离子体反应器，其特征在于，所述钼托(7)与卡槽(601)之间设有用于通气的间隙，所述间隙范围在1-50mm。