[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 202221186376.2 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN217591086U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 夏永禄;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；功能层，形成在所述振动支撑层上方并且悬置在所述空腔上方，所述功能层具有的分割线将所述功能层分割成至少两部分；其中，所述振动支撑层还具有边缘褶皱，所述边缘褶皱具有围绕所述功能层的第一部分和相对于所述第一部分更加外扩的第二部分，所述第二部分的位置与所述分割线的位置相对应。本申请在振动支撑层上设置不同曲率的第一部分和第二部分，分别对功能层边缘和分割线处的应力进行释放，从而改善MEMS结构的振动支撑层应力分配不均的问题，提高MEMS结构的灵敏度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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