[实用新型]一种MEMS结构

说明书

本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；功能层，形成在所述振动支撑层上方并且悬置在所述空腔上方，所述功能层具有的分割线将所述功能层分割成至少两部分；其中，所述振动支撑层还具有边缘褶皱，所述边缘褶皱具有围绕所述功能层的第一部分和相对于所述第一部分更加外扩的第二部分，所述第二部分的位置与所述分割线的位置相对应。本申请在振动支撑层上设置不同曲率的第一部分和第二部分，分别对功能层边缘和分割线处的应力进行释放，从而改善MEMS结构的振动支撑层应力分配不均的问题，提高MEMS结构的灵敏度和稳定性。

技术领域

本申请涉及微机电系统技术领域，具体来说，涉及一种MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微电子机械系统)结构。

背景技术

MEMS传声器主要包括电容式和压电式两种。MEMS压电传声器是利用微电子机械系统技术和压电薄膜技术制备的传声器，由于采用半导体平面工艺和体硅加工等技术，所以其尺寸小、体积小、一致性好。在现有技术中，为了获得最大的输出电压，在振膜尺寸恒定时，将MEMS压电传声器的功能层设置于振膜的中间区域，避免了振动过程中振膜的中间和边缘区域产生相反电荷而造成电压损失。但功能层在振膜上的分布不均，导致功能层边界对振膜产生较大的拉力，使振膜边缘区域变得褶皱。振膜的褶皱对器件的输出稳定性造成不确定性。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本申请提出了一种MEMS结构，能够增加灵敏度和稳定性。

本申请的技术方案是这样实现的：

根据本申请的一个方面，提供了一种MEMS结构，包括：

衬底，具有空腔；

振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；

功能层，形成在所述振动支撑层上方并且悬置在所述空腔上方，所述功能层具有的分割线将所述功能层分割成至少两部分；

其中，所述振动支撑层还具有边缘褶皱，所述边缘褶皱具有围绕所述功能层的第一部分和相对于所述第一部分更加外扩的第二部分，所述第二部分的位置与所述分割线的位置相对应。

其中，所述边缘褶皱呈凹凸不平的波纹状，并且所述边缘褶皱形成在所述空腔上方。

其中，从俯视角度看，所述功能层呈圆形，所述第一部分呈圆弧形，并且所述第二部分呈圆弧形。

其中，所述第一部分和所述第二部分连续。

其中，所述功能层包括：

第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；

压电层，形成在所述第一电极层上方；

第二电极层，形成在所述压电层上方，所述分割线将所述第一电极层和所述第二电极层分割成至少两部分。

其中，所述分割线设置在所述第一电极层和所述第二电极层上。

其中，所述MEMS结构还包括阻挡层，所述阻挡层设置在所述衬底和所述振动支撑层之间。

其中，所述功能层的区域面积小于所述空腔的区域面积。

综上，本申请在振动支撑层上设置不同曲率的第一部分和第二部分，分别对功能层边缘和分割线处的应力进行释放，从而改善MEMS结构的振动支撑层应力分配不均的问题，提高MEMS结构的灵敏度和稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。