[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 202221186376.2 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN217591086U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 夏永禄;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：
衬底，具有空腔；
振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；
功能层，形成在所述振动支撑层上方并且悬置在所述空腔上方，所述功能层具有的分割线将所述功能层分割成至少两部分；
其中，所述振动支撑层还具有边缘褶皱，所述边缘褶皱具有围绕所述功能层的第一部分和相对于所述第一部分更加外扩的第二部分，所述第二部分的位置与所述分割线的位置相对应。
2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述边缘褶皱呈凹凸不平的波纹状，并且所述边缘褶皱形成在所述空腔上方。
3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，从俯视角度看，所述功能层呈圆形，所述第一部分呈圆弧形，并且所述第二部分呈圆弧形。
4.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分连续。
5.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述功能层包括：
第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；
压电层，形成在所述第一电极层上方；
第二电极层，形成在所述压电层上方，所述分割线将所述第一电极层和所述第二电极层分割成至少两部分。
6.根据权利要求5所述的MEMS结构，其特征在于，所述分割线设置在所述第一电极层和所述第二电极层上。
7.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS结构还包括阻挡层，所述阻挡层设置在所述衬底和所述振动支撑层之间。
8.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述功能层的区域面积小于所述空腔的区域面积。
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