[实用新型]一种可移动式加热装置

摘要

本实用新型提供了一种可移动式加热装置，其中加热载台上设有多个承载台、三个定位柱，承载台侧边设有三个凹形卡槽；移动载盘上设有多个承载槽、三个定位孔，承载槽内壁设有三个凸形卡柱；载盘边缘设有多个圆孔，加热载台底部设有多个加热器，并呈等间距环绕分布。利用移动载盘上的承载槽及凸形卡柱形成针对晶圆的单独提取机构，在制程过程中可将晶圆上下片在承载槽中单独进行，作业结束后也无需逐片将晶圆从加热载台取出，可省去大量的上下片耗时；同时生产人员的上下片过程不需要近距离接触加热载台，避免了人员上下片被高温烫伤的风险，在针对移动载盘上下片的同时，还可对加热载台同步实施预热操作，大大提升了设备的生产效率。