[实用新型]一种可移动式加热装置有效
| 申请号: | 202221183900.0 | 申请日: | 2022-05-17 |
| 公开(公告)号: | CN218175103U | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
| 发明(设计)人: | 许明明;董国庆;文国昇;董建民 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/458;C23C16/511;C23C16/505;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
| 地址: | 330096 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 移动式 加热 装置 | ||
1.一种可移动式加热装置,包括加热载台、移动载盘、多个加热器,其特征在于:所述加热载台上设有多个承载台、至少三个定位柱,每个所述承载台侧边设有至少三个凹形卡槽,所述移动载盘上设有多个承载槽、至少三个定位孔,每个所述承载槽内壁设有至少三个凸形卡柱,多个所述承载台与多个所述承载槽的中心轴线一一对应重合并呈套合对接,多个所述凹形卡槽与多个所述凸形卡柱的位置一一对应并呈镶嵌对接,每个所述承载槽上的多个所述凸形卡槽内边所组成的内切圆直径小于所述承载台直径,所述载盘边缘设有多个圆孔,所述加热载台底部设有多个所述加热器,所述加热器呈条状,并沿所述加热载台的中心轴线呈环绕分布。
2.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:多个所述加热器的横截面呈等间距分布。
3.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:所述加热载台及所述移动载盘的材料为铝合金、钛合金、钢中的一种。
4.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:所述加热载台及所述移动载盘的材料类型相同。
5.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:多个所述承载台、多个所述承载槽皆呈圆周阵列分布。
6.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:多个所述定位柱、多个所述定位孔皆呈圆周阵列分布。
7.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:所述定位柱顶端呈圆顶。
8.如权利要求1所述的可移动式加热装置,其特征在于:所述定位孔朝向所述移动载盘底面的孔口设有锥形沉头孔。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





