[实用新型]一种蒸镀坩埚及其取放装置有效
| 申请号： | 202221116490.8 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN217556271U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 林志斌;林泽;吴晟远 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56;B66C1/12;B66D3/04 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝；本实用新型设计具有吊环的蒸镀坩埚，同时设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧部加热丝、加热丝固定块或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 及其 装置 | ||
【主权项】：
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