[实用新型]一种蒸镀坩埚及其取放装置

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝；本实用新型设计具有吊环的蒸镀坩埚，同时设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧部加热丝、加热丝固定块或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题。

技术领域

本实用新型属于蒸镀坩埚技术领域，具体涉及一种蒸镀坩埚及其取放装置。

背景技术

随着技术的进步，显示行业主流技术也从早期的LCD逐渐往OLED甚至Micro LED、QLED等方向发展，各种技术在市场中扮演着不同的角色，其中OLED由于其超薄柔性可折叠、广色域、宽视角等特性，成为当今中小尺寸手机屏最为主流的技术；

目前量产OLED制备器件最主要采用蒸镀的方式，通过加热使有机材料升华或气化逸出，最终遇冷凝结沉积在玻璃基板上，形成所需要的功能膜层，不同功能膜层搭配最终在电流的驱动下发出肉眼可见的颜色。当前阴极金属层普遍采用点源坩埚进行蒸镀，其是设备保养、添加或更换材料作业过程中拆装最为频繁的组件；

现有点源腔体内，由于为了为保证加热与保温效果，石墨制造的点源坩埚与腔体侧壁距离非常狭窄，通常坩埚与侧壁上的加热丝及加热丝固定环距离仅有不到1cm，侧面的加热丝通常为易脆性材质，作业人员在取放坩埚时需用手指深入坩埚出气口，在取放时必须小心翼翼保持垂直地上下，稍有不慎倾斜即会导致石墨坩埚撞坏侧壁的加热丝或固定环，甚至从手中脱落导致坩埚破损，均会造成巨大的成本浪费，同时也会严重影响生产节奏。同时，由于蒸镀有机材料接触水养易变质的特性，在进行保养、加料或更换材料时需严格管控作业时间，用手取存在污染材料的问题，作业人员小心翼翼的作业同时也存在效率低下的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀坩埚及其取放装置，以解决上述背景技术中提出的在取放坩埚时，存在可能导致石墨坩埚撞坏侧壁的加热丝或固定环，甚至从手中脱落导致坩埚破损，均会造成巨大的成本浪费的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝，实现加热，所述侧壁上侧加热丝与侧壁下侧加热丝之间设置有固定环，在所述坩埚侧部的顶部开设有三个定位槽，在所述锅体的顶部还固定有吊环口，所述吊环口的顶部设置有保险扣。

优选的，所述定位槽围绕锅体的中心呈等间距三角阵列排布，能够在吊装中，实现快速稳定的吊起。

一种蒸镀坩埚的取放装置，包括与坩埚侧部连接的支撑组件，以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件，用于将埚体进行稳定提升，实现方便取出，所述支撑组件包括插入定位槽中的主体支架，所述主体支架的顶部设置有顶盖，所述顶盖与主体支架的连接处设置有连接螺栓，所述顶盖的顶部安装有固定螺栓，所述顶盖的底部设置有与固定螺栓固定连接的圆形吊环，用于吊装，所述圆形吊环的底部安装有顶部吊环，所述滑轮提升组件包括安装在顶部吊环底部的定滑轮、固定在其中一个主体支架上的绞盘，用于起到提升作用，并且带有刹车功能，实现定点限位悬挂，在绞盘与定滑轮上设置有吊索一，所述吊索一的底部形成有三根吊索二，所述吊索二的底部与吊环口套设连接。

优选的，所述顶部吊环的开口处还设置有保险装置。

优选的，所述坩埚侧部的顶部与主体支架之间还设置有固定组件，进一步提升安装的稳定性，所述固定组件包括固定在坩埚侧部顶端面上的固定组，所述固定组的顶部通过转轴连接有转轴，所述转轴呈“V”型结构，且转轴与主体支架贴合连接。