[实用新型]一种蒸镀坩埚及其取放装置有效
| 申请号: | 202221116490.8 | 申请日: | 2022-05-10 |
| 公开(公告)号: | CN217556271U | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
| 发明(设计)人: | 林志斌;林泽;吴晟远 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;H01L51/56;B66C1/12;B66D3/04 |
| 代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
| 地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 及其 装置 | ||
1.一种蒸镀坩埚,包括坩埚侧部(200)以及处于坩埚侧部(200)内部的锅体(100),所述锅体(100)的顶部预留有开口,并形成有出气口(101),所述锅体(100)的内部放置有内置材料(102),所述锅体(100)的底部设置有底座(205),其特征在于:所述锅体(100)两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝(203),在锅体(100)两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝(202),所述侧壁上侧加热丝(202)与侧壁下侧加热丝(203)之间设置有固定环(204),在所述坩埚侧部(200)的顶部开设有三个定位槽(301),在所述锅体(100)的顶部还固定有吊环口(314),所述吊环口(314)的顶部设置有保险扣(315)。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚,其特征在于:所述定位槽(301)围绕锅体(100)的中心呈等间距三角阵列排布。
3.一种如权利要求1-2任一项所述的蒸镀坩埚的取放装置,包括与坩埚侧部(200)连接的支撑组件,以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件,其特征在于:所述支撑组件包括插入定位槽(301)中的主体支架(304),所述主体支架(304)的顶部设置有顶盖(307),所述顶盖(307)与主体支架(304)的连接处设置有连接螺栓(308),所述顶盖(307)的顶部安装有固定螺栓(306),所述顶盖(307)的底部设置有与固定螺栓(306)固定连接的圆形吊环(305),所述圆形吊环(305)的底部安装有顶部吊环(309),所述滑轮提升组件包括安装在顶部吊环(309)底部的定滑轮(311)、固定在其中一个主体支架(304)上的绞盘(303),在绞盘(303)与定滑轮(311)上设置有吊索一(312),所述吊索一(312)的底部形成有三根吊索二(313),所述吊索二(313)的底部与吊环口(314)套设连接。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚的取放装置,其特征在于:所述顶部吊环(309)的开口处还设置有保险装置(310)。
5.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚的取放装置,其特征在于:所述坩埚侧部(200)的顶部与主体支架(304)之间还设置有固定组件(316),所述固定组件(316)包括固定在坩埚侧部(200)顶端面上的固定组(3161),所述固定组(3161)的顶部通过转轴连接有转轴(3162),所述转轴(3162)呈“V”型结构,且转轴(3162)与主体支架(304)贴合连接。
6.根据权利要求5所述的一种蒸镀坩埚的取放装置,其特征在于:所述转轴(3162)的内侧面设置有防滑垫一(3163),该防滑垫一(3163)与主体支架(304)贴合连接,所述定位槽(301)的内部设置有防滑垫二(3164),所述防滑垫二(3164)的内部与主体支架(304)的底端相抵。
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