[实用新型]一种导流板有效
| 申请号： | 202221098686.9 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN217484692U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 邓岗;程虎 | 申请（专利权）人： | 上海芯源微企业发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区临*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种导流板，包括：凹槽；设置于所述凹槽内的若干通孔，用于气体流通；所述凹槽与盘盖表面形成排气腔体，使气体从晶圆所在区域通过所述若干通孔进入所述排气腔体后排出，能够增大排风吸力，改善排风的均匀性，有利于排出烘烤腔室内的挥发物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导流 | ||
【主权项】：
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