[实用新型]一种导流板有效
| 申请号： | 202221098686.9 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN217484692U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 邓岗;程虎 | 申请（专利权）人： | 上海芯源微企业发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区临*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 导流 | ||
【权利要求书】：
1.一种导流板，应用于晶圆烘烤设备的盘盖，其特征在于，包括：
凹槽，所述凹槽包括若干沟槽，所述若干沟槽自所述导流板的中心区域径向延伸至边缘区域；
所述若干沟槽呈中心对称设置，其对称中心为所述导流板的圆心；
设置于所述凹槽内的若干通孔，用于气体流通；
所述凹槽与盘盖表面形成排气腔体，使气体从晶圆所在区域通过所述若干通孔进入所述排气腔体后排出。
2.根据权利要求1所述的导流板，其特征在于，所述若干沟槽为封闭式直角沟槽。
3.根据权利要求2所述的导流板，其特征在于，所述若干沟槽包括2N个沟槽，N为大于等于3的正整数。
4.根据权利要求1所述的导流板，其特征在于，所述凹槽包括圆形型腔，所述圆形型腔与所述导流板同心设置，所述圆形型腔与所述若干沟槽相互贯通。
5.根据权利要求4所述的导流板，其特征在于，所述圆形型腔内设置有圆形凸台，所述圆形凸台上设置有轴向贯通所述导流板的中心孔，所述中心孔、所述圆形凸台和所述圆形型腔同心设置。
6.根据权利要求5所述的导流板，其特征在于，所述若干通孔沿所述若干沟槽的延伸方向等间距排列在所述若干沟槽内。
7.根据权利要求6所述的导流板，其特征在于，所述若干通孔中靠近所述导流板的边缘区域的孔的尺寸大于靠近中心区域的孔的尺寸。
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