[实用新型]微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置有效
| 申请号： | 202221030620.6 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN218413054U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | R·卡尔米纳蒂;N·博尼;I·马蒂尼;M·默利;L·奥吉欧尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/18;B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置。一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：支撑框架，由半导体材料形成；板，连接到支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；微反射镜，位于板上；悬臂结构，从支撑框架延伸并且耦合到板，使得悬臂结构的弯曲引起板围绕至少一个旋转轴线的旋转；压电致动器，位于悬臂结构上；焊盘，位于支撑框架上；以及间隔件结构，从支撑框架突出得比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多。利用本公开的实施例有利地使总产率提高、并且减少了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 反射 设备 投影仪 装置 便携式 电子 | ||
【主权项】：
暂无信息
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