[实用新型]微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置

权利要求书

1.一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：

支撑框架，由半导体材料形成；

板，连接到所述支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；

微反射镜，位于所述板上；

悬臂结构，从所述支撑框架延伸并且耦合到所述板，使得所述悬臂结构的弯曲引起所述板围绕所述至少一个旋转轴线的旋转；

压电致动器，位于所述悬臂结构上；

焊盘，位于所述支撑框架上；以及

间隔件结构，从所述支撑框架突出得比形成所述压电致动器的层堆叠和所述焊盘二者更多。

2.根据权利要求1所述的微机电反射镜设备，其特征在于，所述间隔件结构从所述支撑框架突出得比形成所述压电致动器的所述层堆叠和所述焊盘更远。

3.根据权利要求1所述的微机电反射镜设备，其特征在于：

每个间隔件结构包括虚设致动器；

每个压电致动器包括致动器底电极、致动器压电区域和致动器顶电极；以及

每个虚设致动器包括虚设底电极、虚设压电区域和虚设顶电极。

4.根据权利要求3所述的微机电反射镜设备，其特征在于，进一步包括：

第一钝化层，至少部分地位于所述压电致动器和所述虚设致动器上；

第二钝化层，位于所述第一钝化层上；以及

连接线，位于所述第一钝化层和所述第二钝化层之间；

其中所述压电致动器包括通过所述第一钝化层连接到相应连接线的致动器接触；以及

其中所述间隔件结构包括位于所述第一钝化层的覆盖相应虚设致动器的部分与所述第二钝化层之间的虚设线。

5.一种微投影仪装置，其特征在于，包括：

控制单元；

根据权利要求1所述的微机电反射镜设备，其由所述控制单元控制；以及

光源，被定向为朝向所述微机电反射镜并且由所述控制单元控制以基于待生成的图像来生成光束。

6.一种便携式电子装置，其特征在于，包括：系统处理器和耦合到所述系统处理器的根据权利要求5所述的微投影仪装置。