[实用新型]一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台有效
| 申请号： | 202221030564.6 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217552792U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋宇飞;蒋焰云;朱建国;程宣林 | 申请（专利权）人： | 无锡赛默可科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 郭思惠 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，包括底座，所述底座内部开设有空腔一，所述空腔一内底部固定连接有电机一，所述电机一顶部转动连接有转动杆，所述转动杆顶部固定连接有旋转台，所述旋转台内部固定连接有移动机构，所述旋转台顶部固定连接有夹持机构。该可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，通过设置的夹持机构，可以稳定的将晶圆夹持起来并带动到不同的位置，定位较为准确，弧形橡胶垫可以避免晶圆遭到磨损，通过设置的移动机构，可以通过启动电机二由螺母一带动滑块一和滑块二前后移动，从而带动支撑板和支持板前后移动，则可以进行全方位校正定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全方位 精确 校正 定位 精密 旋转 | ||
【主权项】：
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