[实用新型]一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台

权利要求书

1.一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内部开设有空腔一(3)，所述空腔一(3)内底部固定连接有电机一(4)，所述电机一(4)顶部转动连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)顶部固定连接有旋转台(2)，所述旋转台(2)内部固定连接有移动机构(7)，所述旋转台(2)顶部固定连接有夹持机构(6)；

所述移动机构(7)包括滑槽一(76)，所述滑槽一(76)开设于旋转台(2)顶部，所述滑槽一(76)顶部固定连接有滑块一(77)，所述旋转台(2)顶部开设有滑槽二(79)，所述滑槽二(79)顶部滑动连接有滑块二(75)。

2.根据权利要求1所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述旋转台(2)前侧固定连接有电机二(71)，所述电机二(71)背部转动连接有螺纹杆一(72)，所述螺纹杆一(72)外侧螺纹连接有螺母一(74)，所述螺母一(74)左侧固定连接有连接杆一(781)。

3.根据权利要求2所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述连接杆一(781)固定连接于滑块二(75)右侧，所述螺母一(74)右侧固定连接有连接杆二(78)，所述连接杆二(78)固定连接于滑块一(77)左侧，所述旋转台(2)内部开设有空腔二(73)，所述空腔二(73)外侧开孔，所述螺纹杆一(72)通过孔转动连接于空腔二(73)内部。

4.根据权利要求1所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述夹持机构(6)包括支撑板(62)，所述支撑板(62)固定连接于滑块一(77)顶部，所述支撑板(62)左侧固定连接有电机三(61)，所述电机三(61)右侧转动连接有螺纹杆二(631)，所述螺纹杆二(631)外侧螺纹连接有螺母二(64)，所述螺母二(64)顶部固定连接有滑块三(68)，所述滑块三(68)外侧滑动连接有滑杆(63)，所述滑杆(63)固定连接于支撑板(62)右侧。

5.根据权利要求4所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述滑杆(63)右侧固定连接有支持板(66)，所述支持板(66)固定连接于滑块二(75)顶部，所述支持板(66)中间开孔，所述螺纹杆二(631)通过孔转动连接于支持板(66)内部。

6.根据权利要求4所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述螺母二(64)底部固定连接有连接块(641)，所述连接块(641)右侧固定连接有弧形块一(642)，所述弧形块一(642)右侧固定连接有弧形橡胶垫一(643)。

7.根据权利要求5所述的一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，其特征在于：所述支持板(66)左侧固定连接有伸缩杆(67)，所述伸缩杆(67)左侧固定连接有弧形块二(651)，所述弧形块二(651)左侧固定连接有弧形橡胶垫二(65)。