[实用新型]一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台

说明书

本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，包括底座，所述底座内部开设有空腔一，所述空腔一内底部固定连接有电机一，所述电机一顶部转动连接有转动杆，所述转动杆顶部固定连接有旋转台，所述旋转台内部固定连接有移动机构，所述旋转台顶部固定连接有夹持机构。该可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，通过设置的夹持机构，可以稳定的将晶圆夹持起来并带动到不同的位置，定位较为准确，弧形橡胶垫可以避免晶圆遭到磨损，通过设置的移动机构，可以通过启动电机二由螺母一带动滑块一和滑块二前后移动，从而带动支撑板和支持板前后移动，则可以进行全方位校正定位。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

而在生产过程中，对晶圆校正定位的旋转台的使用也十分重要，但是现有技术中的旋转台，大多结构单一，定位不是很准确，这也对生产过程造成了一定的麻烦，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，包括底座，所述底座内部开设有空腔一，所述空腔一内底部固定连接有电机一，所述电机一顶部转动连接有转动杆，所述转动杆顶部固定连接有旋转台，所述旋转台内部固定连接有移动机构，所述旋转台顶部固定连接有夹持机构。

所述移动机构包括滑槽一，所述滑槽一开设于旋转台顶部，所述滑槽一顶部固定连接有滑块一，所述旋转台顶部开设有滑槽二，所述滑槽二顶部滑动连接有滑块二。

优选的，所述旋转台前侧固定连接有电机二，所述电机二背部转动连接有螺纹杆一，所述螺纹杆一外侧螺纹连接有螺母一，所述螺母一左侧固定连接有连接杆一，则启动电机二时螺母一可带动连接杆一前后移动。

优选的，所述连接杆一固定连接于滑块二右侧，所述螺母一右侧固定连接有连接杆二，所述连接杆二固定连接于滑块一左侧，所述旋转台内部开设有空腔二，所述空腔二外侧开孔，所述螺纹杆一通过孔转动连接于空腔二内部，保持结构稳定前后移动。

优选的，所述夹持机构包括支撑板，所述支撑板固定连接于滑块一顶部，所述支撑板左侧固定连接有电机三，所述电机三右侧转动连接有螺纹杆二，所述螺纹杆二外侧螺纹连接有螺母二，所述螺母二顶部固定连接有滑块三，所述滑块三外侧滑动连接有滑杆，所述滑杆固定连接于支撑板右侧，电机三启动时螺母二可沿滑杆稳定移动。

优选的，所述滑杆右侧固定连接有支持板，所述支持板固定连接于滑块二顶部，所述支持板中间开孔，所述螺纹杆二通过孔转动连接于支持板内部，保持结构稳定。

优选的，所述螺母二底部固定连接有连接块，所述连接块右侧固定连接有弧形块一，所述弧形块一右侧固定连接有弧形橡胶垫一，则弧形块一可随螺母二左右移动。

优选的，所述支持板左侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆左侧固定连接有弧形块二，所述弧形块二左侧固定连接有弧形橡胶垫二，弧形块二可以随伸缩杆左右移动。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，具备以下有益效果：

1、该可全方位对晶圆精确校正定位的精密旋转台，通过设置的夹持机构，可以稳定的将晶圆夹持起来并带动到不同的位置，定位较为准确，弧形橡胶垫可以避免晶圆遭到磨损。