[实用新型]一种用于提纯三氯氢硅的系统有效
| 申请号: | 202221019215.4 | 申请日: | 2022-04-29 |
| 公开(公告)号: | CN217312012U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
| 发明(设计)人: | 彭中;甘居富;程茂林;杜炳胜;汪云清;杨成;杨强;刘阳 | 申请(专利权)人: | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号: | B01D3/14 | 分类号: | B01D3/14;B01D3/32;C01B33/107 |
| 代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 王艳平 |
| 地址: | 678100 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于提纯三氯氢硅的系统,属于多晶硅生产技术领域,包括依次串联的一级分离塔、二级分离塔和三级分离塔,二级分离塔与三级分离塔之间设有缓冲罐,二级分离塔与缓冲罐连接的管线I上设有药剂加入管线,一级分离塔连接有原料液进管,三级分离塔顶部连接有精制三氯氢硅管线,解决现有技术中精制三氯氢硅系统复杂,流程很长,存在生产投资大,且蒸汽消耗量非常大的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 提纯 三氯氢硅 系统 | ||
【主权项】:
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