[实用新型]一种用于提纯三氯氢硅的系统有效
| 申请号： | 202221019215.4 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217312012U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 彭中;甘居富;程茂林;杜炳胜;汪云清;杨成;杨强;刘阳 | 申请（专利权）人： | 云南通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;B01D3/32;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 王艳平 |
| 地址： | 678100 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提纯 三氯氢硅 系统 | ||
1.一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：包括依次串联的一级分离塔（1）、二级分离塔（2）和三级分离塔（3），二级分离塔（2）与三级分离塔（3）之间设有缓冲罐（4），二级分离塔（2）与缓冲罐（4）连接的管线I（5）上设有药剂加入管线（6），一级分离塔（1）连接有原料液进管（7），三级分离塔（3）顶部连接有精制三氯氢硅管线（8）。
2.根据权利要求1所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：所述的二级分离塔（2）与三级分离塔（3）之间并联设置有至少两个缓冲罐（4）。
3.根据权利要求1所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：缓冲罐（4）前端管线上设有混合器（9），混合器（9）的进口端连接药剂加入管线（6）和二级分离塔（2）的塔釜端。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：所述一级分离塔（1）的塔底设有再沸塔I（10），一级分离塔（1）的塔釜连接有四氯化硅管线（11），一级分离塔（1）的塔顶通过管线II（12）连接二级分离塔（2）；通过管线III（13）连接一级分离塔（1）的进口I（1.1）。
5.根据权利要求4所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：一级分离塔（1）塔顶连接的管线上依次设有冷凝器I（14）、回流罐I（15）和泵I（16）。
6.根据权利要求1-3任一项所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：二级分离塔（2）的塔底设有再沸塔II（17），二级分离塔（2）的塔顶连接有二氯二氢硅管线（18），并通过管线IV（19）连接二级分离塔（2）的进口II（2.1）。
7.根据权利要求6所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：所述管线IV（19）上设有冷凝器II（20）、回流罐II（21）和泵II（22）。
8.根据权利要求1-3任一项所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：所述三级分离塔（3）的塔顶通过管线V（23）连接三级分离塔（3）的进口III（3.1），所述三级分离塔（3）的塔底连接有重组分排出管线（24），三级分离塔（3）的塔底设有再沸塔III（25）。
9.根据权利要求8所述的一种用于提纯三氯氢硅的系统，其特征在于：所述精制三氯氢硅管线（8）上设有冷凝器III（26）、回流罐III（27）和泵III（28）。
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