[实用新型]一种用于提纯三氯氢硅的系统

说明书

本实用新型公开了一种用于提纯三氯氢硅的系统，属于多晶硅生产技术领域，包括依次串联的一级分离塔、二级分离塔和三级分离塔，二级分离塔与三级分离塔之间设有缓冲罐，二级分离塔与缓冲罐连接的管线I上设有药剂加入管线，一级分离塔连接有原料液进管，三级分离塔顶部连接有精制三氯氢硅管线，解决现有技术中精制三氯氢硅系统复杂，流程很长，存在生产投资大，且蒸汽消耗量非常大的问题。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于提纯三氯氢硅的系统。

背景技术

目前，国内生产多晶硅的方法多为改良西门子法，改良西门子法生产多晶硅的原料为三氯氢硅和氢气，随着下游客户对多晶硅的纯度要求逐渐增高，如需要多晶硅产品纯度大于9N，因此需对原有工艺进行进一步优化或做一定改变，才能达到该高纯度的多晶硅产品。

为了生产高纯度的多晶硅产品，首先需要制取高纯度的三氯氢硅原料。目前行业主流工艺均是：将冷氢化送过来的原料三氯氢硅进行两级分离（一级分离四氯化硅，一级分离二氯二氢硅）后，再进行3-4级脱轻和脱重后得到精制三氯氢硅。

采用上述传统的生产方法，常存在下述技术问题：

由于原料三氯氢硅中的B、P元素以及很多金属杂质的沸点与三氯氢硅非常接近，为了得到高纯度的三氯氢硅就需要5-6级精馏塔进行精馏处理后才能得到精制三氯氢硅，流程很长，存在生产投资大，且蒸汽消耗量非常大的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中精制三氯氢硅系统复杂，流程很长，存在生产投资大，且蒸汽消耗量非常大的问题。

为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于提纯三氯氢硅的系统，包括依次串联的一级分离塔、二级分离塔和三级分离塔，二级分离塔与三级分离塔之间设有缓冲罐，二级分离塔与缓冲罐连接的管线I上设有药剂加入管线，一级分离塔连接有原料液进管，三级分离塔顶部连接有精制三氯氢硅管线。

进一步地，所述的二级分离塔与三级分离塔之间并联设置有至少两个缓冲罐。

进一步地，缓冲罐前端管线上设有混合器，混合器的进口端连接药剂加入管线和二级分离塔的塔釜端。

进一步地，所述一级分离塔的塔底设有再沸塔I，一级分离塔的塔釜连接有四氯化硅管线，一级分离塔的塔顶通过管线II连接二级分离塔；通过管线III连接一级分离塔的进口I。

进一步地，一级分离塔塔顶连接的管线上依次设有冷凝器I、回流罐I和泵I。

进一步地，二级分离塔的塔底设有再沸塔II，二级分离塔的塔顶连接有二氯二氢硅管线，并通过管线IV连接二级分离塔的进口II。

进一步地，所述管线IV上设有冷凝器II、回流罐II和泵II。

进一步地，所述三级分离塔的塔顶通过管线V连接三级分离塔的进口III，所述三级分离塔的塔底连接有重组分排出管线，三级分离塔的塔底设有再沸塔III。

进一步地，所述精制三氯氢硅管线上设有冷凝器III、回流罐III和泵III。

本实用新型的有益效果：

一、本实用新型中，采用该系统，可以有效除去B、P元素以及多种金属杂质，保证得到的三氯氢硅符合制备高纯多晶硅的原料需求，同时，本技术方案的系统涉及的装置较少，分离除去四氯化硅、二氯二氢硅后，再经一级精馏处理即可得到精制三氯氢硅，大幅度降低了设备投资和蒸汽消耗，有效降低生产成本。

二、本实用新型中，二级分离塔与三级分离塔之间并联设置多个缓冲罐，由于液相与加入试剂间需要留够时间进行充分反应，每个缓冲罐不能连续工作，并联设置多个缓冲罐可以有效解决连续生产问题。