[实用新型]一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构有效

专利信息
申请号: 202221015868.5 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN217517061U 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 严思琴;孙志刚;钱慧宇;赵涛;梁团结;艾蕾 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 宁波助通知识产权代理事务所(普通合伙) 33485 代理人: 崔璇璇
地址: 315000 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,包括电机、传动轴、转动轴和螺纹杆。该使用在多工位晶体生长炉的下降机构,使用时,首先控制电机工作,传动轴带动第一斜齿轮转动,第一斜齿轮带动第二斜齿轮转,第二斜齿轮带动转动轴转动,此时当需某个工位需要进行下降操作时,此时控制对应电动推杆收缩,电动推杆带动连接板下降,此时在转动轴的带动下,当连接销块与第二同步轮上的卡槽对应时,此时弹簧将连接销块压入卡槽内,此时转动轴通过活动座和连接销块的配合带动第二同步轮进行同步转动,此时第二同步轮通过同步带带动第一同步轮转动,螺纹杆通过螺纹套管配合管体、滑槽和滑块带动炉管支撑柱升降。
搜索关键词: 一种 使用 多工位 晶体生长 下降 机构
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波大学,未经宁波大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202221015868.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top