[实用新型]一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构有效
| 申请号: | 202221015868.5 | 申请日: | 2022-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN217517061U | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
| 发明(设计)人: | 严思琴;孙志刚;钱慧宇;赵涛;梁团结;艾蕾 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司: | 宁波助通知识产权代理事务所(普通合伙) 33485 | 代理人: | 崔璇璇 |
| 地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,包括电机、传动轴、转动轴和螺纹杆。该使用在多工位晶体生长炉的下降机构,使用时,首先控制电机工作,传动轴带动第一斜齿轮转动,第一斜齿轮带动第二斜齿轮转,第二斜齿轮带动转动轴转动,此时当需某个工位需要进行下降操作时,此时控制对应电动推杆收缩,电动推杆带动连接板下降,此时在转动轴的带动下,当连接销块与第二同步轮上的卡槽对应时,此时弹簧将连接销块压入卡槽内,此时转动轴通过活动座和连接销块的配合带动第二同步轮进行同步转动,此时第二同步轮通过同步带带动第一同步轮转动,螺纹杆通过螺纹套管配合管体、滑槽和滑块带动炉管支撑柱升降。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 使用 多工位 晶体生长 下降 机构 | ||
【主权项】:
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