[实用新型]一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构有效

专利信息
申请号: 202221015868.5 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN217517061U 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 严思琴;孙志刚;钱慧宇;赵涛;梁团结;艾蕾 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 宁波助通知识产权代理事务所(普通合伙) 33485 代理人: 崔璇璇
地址: 315000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 使用 多工位 晶体生长 下降 机构
【权利要求书】:

1.一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上方设有安装板(2),安装板(2)的上方设有顶板(3),顶板(3)上等距离贯穿设有炉管支撑柱(4),炉管支撑柱(4)的内侧嵌设有螺纹套管(5),螺纹套管(5)的内侧螺纹连接有与其相适配的螺纹杆(6),螺纹杆(6)的一端转动贯穿安装板(2)且固定连接有第一同步轮(7),螺纹杆(6)的外侧罩设有管体(8),管体(8)与炉管支撑柱(4)相适配,管体(8)的内壁对称开设有滑槽(9),炉管支撑柱(4)的底端外侧对称固定连接有滑块(10),底板(1)的顶面通过轴承座转动连接有传动轴(11),传动轴(11)上对应第一同步轮(7)的外侧均固定连接有第一斜齿轮(12),第一斜齿轮(12)的与第一同步轮(7)之间设有传动机构(13),底板(1)的顶面对应传动轴(11)的外侧固定安装有电机(14)。

2.根据权利要求1所述的一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,其特征在于:所述顶板(3)通过支撑杆与安装板(2)固定连接,安装板(2)通过支撑杆与底板(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,其特征在于:所述传动机构(13)包括有转动轴(15)、第二同步轮(16)、第二斜齿轮(17)和同步带(18)。

4.根据权利要求3所述的一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,其特征在于:所述转动轴(15)转动连接在安装板(2)的底面,第二斜齿轮(17)固定连接在转动轴(15)的底端,第二斜齿轮(17)与第一斜齿轮(12)传动连接,第二同步轮(16)转动套设在转动轴(15)的外侧,同步带(18)同时套设在第二同步轮(16)和第一同步轮(7)的外侧。

5.根据权利要求3所述的一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,其特征在于:所述转动轴(15)为空心设置,转动轴(15)内设有与其相适配的活动座(19),活动座(19)的外壁固定连接有连接销块(20),连接销块(20)部分伸出转动轴(15),转动轴(15)上开设有用于连接销块(20)穿出且滑动连接的长条开口,第二同步轮(16)上开设有与连接销块(20)相适配的卡槽(21)。

6.根据权利要求5所述的一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,其特征在于:所述活动座(19)的顶面固定连接有竖杆(22),竖杆(22)的顶部外侧套设有与其相适配的套件(23),套件(23)的顶部转动连接有连接板(24),连接板(24)的下方对称设有电动推杆(25),电动推杆(25)固定安装在安装板(2)的顶面,电动推杆(25)的伸缩端与连接板(24)固定连接,套件(23)与竖杆(22)之间设有弹簧(26)。

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