[实用新型]一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构有效

专利信息
申请号: 202221015868.5 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN217517061U 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 严思琴;孙志刚;钱慧宇;赵涛;梁团结;艾蕾 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 宁波助通知识产权代理事务所(普通合伙) 33485 代理人: 崔璇璇
地址: 315000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 使用 多工位 晶体生长 下降 机构
【说明书】:

实用新型公开了一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,包括电机、传动轴、转动轴和螺纹杆。该使用在多工位晶体生长炉的下降机构,使用时,首先控制电机工作,传动轴带动第一斜齿轮转动,第一斜齿轮带动第二斜齿轮转,第二斜齿轮带动转动轴转动,此时当需某个工位需要进行下降操作时,此时控制对应电动推杆收缩,电动推杆带动连接板下降,此时在转动轴的带动下,当连接销块与第二同步轮上的卡槽对应时,此时弹簧将连接销块压入卡槽内,此时转动轴通过活动座和连接销块的配合带动第二同步轮进行同步转动,此时第二同步轮通过同步带带动第一同步轮转动,螺纹杆通过螺纹套管配合管体、滑槽和滑块带动炉管支撑柱升降。

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长炉技术领域,具体是一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构。

背景技术

晶体下降法是晶体生产中一种常用的生长晶体方法,需要用到晶体下降炉,通常采用单工位晶体下降炉进行晶体生长,在批量生产过程中,单工位炉体较多工位生长炉生长效率慢。

但是,目前市面上传统的晶体生长炉在针对多个晶体同时加工时,无法较好的对每个炉管支柱进行调控,导致晶体无法在最优的温度下进行晶体接种,导致晶体开裂及多晶的现象发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种使用在多工位晶体生长炉的下降机构,包括底板,所述底板的上方设有安装板,安装板的上方设有顶板,顶板上等距离贯穿设有炉管支撑柱,炉管支撑柱的内侧嵌设有螺纹套管,螺纹套管的内侧螺纹连接有与其相适配的螺纹杆,螺纹杆的一端转动贯穿安装板且固定连接有第一同步轮,螺纹杆的外侧罩设有管体,管体与炉管支撑柱相适配,管体的内壁对称开设有滑槽,炉管支撑柱的底端外侧对称固定连接有滑块,滑块插入滑槽内且通过滑槽与管体滑动连接,炉管支撑柱用过滑槽与滑块的配合与管体滑动连接,底板的顶面通过轴承座转动连接有传动轴,传动轴上对应第一同步轮的外侧均固定连接有第一斜齿轮,第一斜齿轮的与第一同步轮之间设有传动机构,底板的顶面对应传动轴的外侧固定安装有电机,电机的输出端与传动轴固定安装。

作为本实用新型进一步的方案:所述顶板通过支撑杆与安装板固定连接,安装板通过支撑杆与底板固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案:所述传动机构包括有转动轴、第二同步轮、第二斜齿轮和同步带。

作为本实用新型再进一步的方案:所述转动轴转动连接在安装板的底面,第二斜齿轮固定连接在转动轴的底端,第二斜齿轮与第一斜齿轮传动连接,第二同步轮转动套设在转动轴的外侧,同步带同时套设在第二同步轮和第一同步轮的外侧,第一同步轮通过同步带和第二同步轮传动连接。

作为本实用新型再进一步的方案:所述转动轴为空心设置,转动轴内设有与其相适配的活动座,活动座的外壁固定连接有连接销块,连接销块部分伸出转动轴,转动轴上开设有用于连接销块穿出且滑动连接的长条开口,第二同步轮上开设有与连接销块相适配的卡槽。

作为本实用新型再进一步的方案:所述活动座的顶面固定连接有竖杆,安装板上开设有用于竖杆贯穿的穿孔,竖杆的顶部外侧套设有与其相适配的套件,套件的顶部转动连接有连接板,连接板的下方对称设有电动推杆,电动推杆固定安装在安装板的顶面,电动推杆的伸缩端与连接板固定连接,套件与竖杆之间设有弹簧,弹簧的两端分别与套件和竖杆固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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