[实用新型]一种金属工件双面微结构蚀刻装置有效
| 申请号： | 202220983038.5 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217398994U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王世权;张亮旗;王文涛;张帆 | 申请（专利权）人： | 扬州赛诺高德电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671 | 代理人： | 卢斌 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金属时刻技术领域，尤其是指一种金属工件双面微结构蚀刻装置，包括储液件、喷液机构、均设于储液件的排液结构、液位检测结构以及支撑结构，支撑结构用于支撑待蚀刻的金属工件以使得金属工件保持悬空状态，喷液机构用于往金属工件上表面喷洒蚀刻液，蚀刻液蚀刻并流动至储液件内与金属工件下表面接触；液位检测结构用于检测储液件内液位高度，排液结构用于在储液件内液面过高时排出多余的蚀刻液。本实用新型通过支撑结构使得金属工件在储液件内保持悬空状态，随后由喷液机构喷洒蚀刻液对金属工件上表面蚀刻后流动至金属工件下表面，以达到对于金属工件同时进行双面蚀刻的效果，提升了蚀刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 工件 双面 微结构 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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