[实用新型]一种金属工件双面微结构蚀刻装置

说明书

本实用新型涉及金属时刻技术领域，尤其是指一种金属工件双面微结构蚀刻装置，包括储液件、喷液机构、均设于储液件的排液结构、液位检测结构以及支撑结构，支撑结构用于支撑待蚀刻的金属工件以使得金属工件保持悬空状态，喷液机构用于往金属工件上表面喷洒蚀刻液，蚀刻液蚀刻并流动至储液件内与金属工件下表面接触；液位检测结构用于检测储液件内液位高度，排液结构用于在储液件内液面过高时排出多余的蚀刻液。本实用新型通过支撑结构使得金属工件在储液件内保持悬空状态，随后由喷液机构喷洒蚀刻液对金属工件上表面蚀刻后流动至金属工件下表面，以达到对于金属工件同时进行双面蚀刻的效果，提升了蚀刻效率。

技术领域

本实用新型涉及金属时刻技术领域，尤其是指一种金属工件双面微结构蚀刻装置。

背景技术

金属蚀刻加工通过蚀刻液去除金属材料达到结构的加工成型，加工快速、工艺简单、成本低，金属蚀刻已经成为不可或缺的技术，被广泛应用于柔性折叠屏手机结构件、散热元件毛细结构等产品的制造。

现有喷淋式湿法蚀刻装置由于集成度高，因蚀刻精度高、一致性好等优点被产业广泛采用，其通过蚀刻液通过压力喷头喷射到工件表面进行蚀刻加工。然而，现有的湿法时刻装置，若需要对金属两个表面进行加工，常采用的方式是：采用分步蚀刻方法，即先蚀刻一面结构后，再进行另一面结构蚀刻加工。这种方式显然加工效率低下，因此市面上亟需一种能够一次性对金属工件进行双面蚀刻的装置。

发明内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种金属工件双面微结构蚀刻装置，能够实现一次对于金属工件的双面蚀刻。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供的一种金属工件双面微结构蚀刻装置，包括储液件、喷液机构、均设于储液件的排液结构、液位检测结构以及支撑结构，支撑结构用于支撑待蚀刻的金属工件以使得金属工件保持悬空状态，喷液机构用于往金属工件上表面喷洒蚀刻液，蚀刻液蚀刻并流动至储液件内与金属工件下表面接触；液位检测结构用于检测储液件内液位高度，排液结构用于在储液件内液面过高时排出多余的蚀刻液。

进一步的，所述储液件或支撑结构设置有流道，流道用于引导蚀刻液流动至金属工件的下表面进行蚀刻。

进一步的，所述喷液机构包括主体以及多个喷头，多个喷头呈矩形阵列分布于主体，主体内设置有流动道，多个喷头均与流动道连通，流动道用于外接蚀刻液源。

进一步的，所述液位检测结构包括至少两个液位检测器，两个液位检测器分别设置于储液件两侧内壁。

进一步的，所述支撑结构包括两个间隔设置于储液件内的支撑件，两个支撑件与储液件可拆卸设置，支撑件用于与金属工件的下表面抵触，两个支撑件之间形成用于容置蚀刻液的空间，储液件与两个支撑件之间形成用于容置蚀刻液的空间。

进一步的，所述支撑结构包括多个支撑部，多个支撑部并排设置，储液件与支撑部之间形成用于容置蚀刻液的空间；支撑部经由储液件的内底壁向上凸起而形成。

进一步的，所述排液结构包括排液管以及控制阀，排液管与储液件连通，控制发音用于控制排液管打开或关闭，控制阀与液位检测结构信号连接。

进一步的，所述储液件内还设置有固定结构，固定结构用于把金属工件固定至储液件内。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过支撑结构使得金属工件在储液件内保持悬空状态，随后由喷液机构喷洒蚀刻液对金属工件上表面蚀刻后流动至金属工件下表面，以达到对于金属工件同时进行双面蚀刻的效果，提升了蚀刻效率。

附图说明

图1为实施例1的示意图。

图2为实施例1的剖视图。

图3为实施例2的剖视图。