[实用新型]一种金属工件双面微结构蚀刻装置

权利要求书

1.一种金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：包括储液件、喷液机构、均设于储液件的排液结构、液位检测结构以及支撑结构，支撑结构用于支撑待蚀刻的金属工件以使得金属工件保持悬空状态，喷液机构用于往金属工件上表面喷洒蚀刻液，蚀刻液蚀刻并流动至储液件内与金属工件下表面接触；液位检测结构用于检测储液件内液位高度，排液结构用于在储液件内液面过高时排出多余的蚀刻液。

2.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述储液件或支撑结构设置有流道，流道用于引导蚀刻液流动至金属工件的下表面进行蚀刻。

3.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述喷液机构包括主体以及多个喷头，多个喷头呈矩形阵列分布于主体，主体内设置有流动道，多个喷头均与流动道连通，流动道用于外接蚀刻液源。

4.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述液位检测结构包括至少两个液位检测器，两个液位检测器分别设置于储液件两侧内壁。

5.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述支撑结构包括两个支撑件两个支撑件间隔设置于储液件内，支撑件用于与金属工件的下表面抵触，储液件与两个支撑件之间形成用于容置蚀刻液的空间。

6.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述支撑结构包括多个支撑部，多个支撑部并排设置，储液件与支撑部之间形成用于容置蚀刻液的空间；支撑部经由储液件的内底壁向上凸起而形成。

7.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述排液结构包括排液管以及控制阀，排液管与储液件连通，控制发音用于控制排液管打开或关闭，控制阀与液位检测结构信号连接。

8.根据权利要求1所述的金属工件双面微结构蚀刻装置，其特征在于：所述储液件内还设置有固定结构，固定结构用于把金属工件固定至储液件内。