[实用新型]半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备有效
| 申请号： | 202220973172.7 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN217604455U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 郁亮;周志坚;李兴元;王建远;徐强 | 申请（专利权）人： | 昆山金城试剂有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02;F25D17/02;F25D23/00;F28D9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子试剂技术领域，公开了一种半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备，其包括两组分别位于链板线两侧的换热装置，换热装置包括安装于链板线侧面基座上的壳体，壳体内部设置有沿其长度延伸的连续弯曲的冷水管，冷水管的一端连接板式换热器的出水管，另一端连接板式换热器的进水管，壳体内部设置有包覆冷水管的保温棉，保温棉的密度自进水端向出水端逐渐降低。本设备通过设置在链板线两侧的换热装置形成一条冷却通道，为进入其间的瓶装氢氟酸快速降温，避免了瓶内压力升高，消除了瓶破的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 多晶 硅片 清洗 试剂 生产 散热 设备 | ||
【主权项】：
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