[实用新型]半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备

说明书

本实用新型属于电子试剂技术领域，公开了一种半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备，其包括两组分别位于链板线两侧的换热装置，换热装置包括安装于链板线侧面基座上的壳体，壳体内部设置有沿其长度延伸的连续弯曲的冷水管，冷水管的一端连接板式换热器的出水管，另一端连接板式换热器的进水管，壳体内部设置有包覆冷水管的保温棉，保温棉的密度自进水端向出水端逐渐降低。本设备通过设置在链板线两侧的换热装置形成一条冷却通道，为进入其间的瓶装氢氟酸快速降温，避免了瓶内压力升高，消除了瓶破的风险。

技术领域

本实用新型属于电子试剂技术领域，涉及到半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备。

背景技术

半导体多晶硅片清洗试剂中的酸性组分，如：氢氟酸，其沸点较低(19.54℃)，在生产过程中需要及时散热降温。氢氟酸定量灌装后需要进入包装车间贴标和分箱包装，氢氟酸置于链板线上自动到达包装工位。由于氢氟酸的沸点很低，在炎热的夏季，车间温度较高的情况下，氢氟酸大量挥发会导致包装瓶内压力升高，一旦包装瓶发生破损将严重威胁工作人员的健康，因此需要提出一种在瓶装氢氟酸输送过程中对其降温的设备。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种在瓶装氢氟酸输送过程中对其降温的设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种半导体多晶硅片清洗试剂生产散热设备，包括两组分别位于链板线两侧的换热装置，所述换热装置包括固定于链板线侧面基座上的壳体，所述壳体内部设置有沿其长度延伸的连续弯曲的水管，所述水管的一端连接板式换热器的出水管，另一端连接板式换热器的进水管，所述壳体内部设置有包覆所述水管的保温棉，所述保温棉的密度自进水端向出水端逐渐降低。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果是：

设置在链板线两侧的换热装置为进入其间的瓶装氢氟酸快速降温，避免了瓶内压力升高，消除了瓶破的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为生产散热设备的示意图；

图2为生产散热设备的剖面示意图；

图3为生产散热设备的另一个角度的剖面示意图；

图4为另一种生产散热设备的剖面示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

实施例

图1中所示的生产散热设备，设置于链板线10中，其包括两组分别位于链板线两侧的换热装置20。参见图2和3，换热装置包括安装于链板线侧面基座上的壳体，壳体内部设置有沿其长度延伸的连续弯曲的冷水管21，壳体内部设置有固定冷水管的支架，冷水管的一端连接板式换热器的出水管，另一端连接板式换热器的进水管，壳体内部设置有包覆冷水管的保温棉22，保温棉的密度自进水端向出水端逐渐降低。包装瓶进入两组换热装置之间形成的冷却通道内，在冷却通道内行走时，包装瓶被快速降温，避免了瓶内压力升高，消除了瓶破的风险。

在壳体的内侧壁上设置有自润滑的聚四氟乙烯涂层23，如此便可减小冷却通道的宽度，提高包装瓶的冷却速度，而且即使包装瓶触碰到涂层，也不会损坏包装瓶的外包装。

在壳体的外侧设置有可拆卸的盖板24，将盖板拆卸后便可检修冷水管和保温棉。

作为本实施例的改进，参见图4，壳体内部设置有两条冷水管21，这两条冷水管的运水方向相反，如此便可保证换热装置内部温度均匀。